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JGH-600A

沈科仪JGH-600A真空泵是由沈阳科学仪器股份有限公司研发的高端设备,结合了罗茨与爪型转子的吸气原理,通过多级转子的优化组合,能够在较宽的压力范围内实现较大的实际抽速,高效地获得洁净的真空环境。以下是其详细介绍:

核心优势

  • 高清洁度:适用于对洁净度要求高的工艺,如集成电路、太阳能电池等

  • 高可靠性:整机设计稳定,运转性能可靠

  • 智能控制:具备自适应智能控制功能,提升工艺安全性

应用领域

  • 重点应用:集成电路、太阳能电池、LED领域,可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程,也可用于PVD、刻蚀、多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程

  • 其他应用:真空冶金(回火和退火、钢脱气,表面处理熔化,精炼,铸造和焊接等);真空镀膜系统(玻璃镀膜、精密光学等);真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等


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