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ESA25-D

荏原ESA25-D真空泵是日本荏原制作所研发的高性能干式真空泵,具有以下特点:

核心技术特性

  • 无油设计:泵腔内无油或其他工作介质,避免油污染,适用于半导体、制药等对洁净度要求高的行业

  • 耐腐蚀性:采用不锈钢或陶瓷涂层等特殊材料,可耐受酸性气体和有机溶剂

  • 高效节能:集成变频调速系统,根据负载动态调节电机功率,能耗降低20%以上

  • 智能监控:实时监测温度、振动等参数,结合物联网技术实现远程故障预警和维护提示


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