ESA
荏原ESA真空泵是日本荏原公司研发的高性能干式真空泵,适用于多种工业场景,具有以下特点:
核心技术特性
无油设计:采用多级压缩或爪式/螺杆式转子结构,通过精密机械密封实现无油运行,避免油蒸气污染,适用于半导体、生物实验室等洁净环境1
。
耐腐蚀性:核心部件使用不锈钢、陶瓷涂层或特殊合金,可耐受腐蚀性气体(如酸性、碱性介质)1
2
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高效节能:优化转子动力学设计,能耗较传统油式泵降低30%~50%,支持变频调速(20%~100%流量调节)1
。
低维护成本:无需定期更换油液,维护周期长达8,000~12,000小时,显著减少停机时间。