SDE120
卡西亚玛SDE120真空泵是日本卡西亚玛公司生产的高性能干式真空泵，具有以下特点：
核心技术特性
无油干式技术：通过精密啮合的螺杆式/爪式转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染，适合晶圆加工等敏感工艺1
。
耐腐蚀设计：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，耐受酸性气体（如HCl、Cl₂）和颗粒物1
。
节能高效：配备变频驱动（VFD）调节转速，能耗比油封泵降低30%～50%1
。
智能控制与监控：实时显示真空度、温度、功耗等数据，支持远程接口（Modbus/以太网）；自诊断系统可预警异常并自动停机保护。
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