SDE603D
卡西亚玛SDE603D真空泵是日本卡西亚玛公司生产的一种高性能干式真空泵,具有以下特点:
无油运行:采用无摩擦设计,避免油污染,适用于对洁净度要求高的行业,如半导体、制药等1
。
耐腐蚀:转子和腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层,可耐受酸性气体和颗粒物1
。
节能高效:配备变频驱动,能耗比油封泵降低30%~50%,抽速范围10~1500 m³/h,极限真空可达0.1 Pa1
。
智能监控:具备自诊断系统,可实时监测真空度、温度等参数,预警异常并自动停机保护1
。
维护便捷:定期检查油位、清洁过滤器,更换易损件,延长使用寿命2
。
该泵广泛应用于半导体制造、化工、新能源等领域,提供高效可靠的真空解决方案。