LR90
爱发科LR90是一款罗茨干式真空泵,由日本爱发科(ULVAC)公司生产1
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产品特点
高效节能:通过优化螺杆形状和采用ECO-SHOCK技术,实现了高速排气与低功耗的平衡,在极限压力下的功耗可降至0.6kW或更低3
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耐腐蚀性强:主要部件经过特殊涂层和表面处理,能够有效抵抗腐蚀性气体的侵蚀,适用于复杂工艺环境3
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低噪音运行:内置消音器,噪音水平可控制在61dB(A)或以下,运行平稳,振动小3
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全压力范围运行:可在从大气压到极限压力的全压力范围内连续运行,满足不同工艺需求3
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排粉性能好:采用特殊设计的转子轴,适用于有粉末产生的工艺,如半导体制造中的蚀刻、灰化等.