日本EBARA任原ESA系列干泵维修

Model ESA系列

罗茨真空泵 抽气速度：30,000L/min 适合轻制程 Model ESA系列是新研发的独特干式真空泵，具有优 越的高速排气性能，从而适应了LCD溅射制膜 装置，真空干燥制程，大型 L/L等工艺要求。并拥有高附加价值，对应气体 负荷自动控制转速，高通信功能等。

特点:

● 最适用于大型真空反应室的高速排气

● 具有高性能通信机能

● 转速自动调节功能

● 采用高度控制泵运转方式

● 采用大口径转子，设计上完美小型

● 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低

● 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格