爱德华EPX系列分子泵维修

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获专利的独特单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立通信连接。

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 最小工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。  

受专利保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。  

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。  

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，最大程度地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE