爱德华IXH系列干泵维修

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场领先 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有最大可靠性。

iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。

应用

半导体的目标应用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目标应用包括：

PECVD

TCO

刻蚀

传输腔

主要特性和优势

针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。

大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。

占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。

符合主要的国际标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。