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产品实拍 技能参数 应用领域
峰值抽速:740 m³/h(436 cfm)
极限压力(无吹扫):3×10⁻³ mbar(2.3×10⁻³ Torr)
功率:
极限压力时:10 kW(13.4 hp)
峰值负载时:37 kW(49.6 hp)
电源选项:
高压:380-460V 3Ø 50/60Hz
低压:200-230V 3Ø 50/60Hz
重量:640 kg
噪音水平:70 dB
运行温度:5 ~ 40 ℃
润滑油容量:2.4 L
进气口/排气口:ISO100 / NW50
冷却水需求:12 L/min(压力差1.5 barg)
半导体制造:刻蚀、镀膜等工艺
光伏产业:硅晶体生长炉等真空系统
锂电池制造:真空干燥、注液等环节
制药行业:真空干燥、浓缩工艺
光学镀膜:提供高均匀性镀膜环境