菜单产品中心Product center
产品实拍 技能参数 应用领域
抽气量 m³/h（50Hz）602 m³/h
抽气量 L/s167.22 L/s
电流 A（三相 380V）15.6 A电压 V三相 200‑400V 50Hz；220‑460V 60Hz
电源型式三相 AC 50Hz，IP54 防护风量 m³/h602 m³/h（等同于名义抽速）
工作流体干燥空气、惰性气体，禁止腐蚀性气体；无泵油（干式）
工作温度环境 5‑40℃；
泵运行最高 85℃工作压力 MPa（入口连续）0.1MPa（大气压）
工作蒸汽耗量 m³/h无（干式干泵，不使用蒸汽）
工作蒸汽压力 kPa无功率 W7500W（7.5kW，50Hz 整机）
应用领域：半导体工艺、光伏镀膜、平板显示、PECVD、刻蚀工艺、真空传输腔体、
金属镀膜、冻干设备、精细化工、无油洁净工艺、可处理含微量粉尘水汽工况，半导体产线主抽真空机组
13392746669
13392746669
3244017920@qq.com 
广东省东莞市寮步镇金富一路35号万马松湖智造园6楼
